Fabrication of Three-Dimensional Imprint Lithography Vorlagen von kolloidalen Dispersionen

Self-ausgerichteten Imprint-Lithographie (SAIL) ermöglicht Strukturierung und Ausrichtung der Submikronbereich Funktionen auf flexiblen Substraten in der Roll-to roll (R2R) Umwelt. Weiche Formen von Elastomeren gemacht haben, wie Briefmarken, um Muster dreidimensionale Masken verwendet worden. Haltbarkeit dieser Stempel ist ein Faktor, die ihre Effizienz Grenzen in einem R2R Prozess. Fluorthermoplaste sind preiswerte impressum Stempel Materialien mit hoher mechanischer Festigkeit und chemische Beständigkeit, aber mit geringer Gasdurchlässigkeit, dass Trap Luftblasen in der Photopolymer während des Impressums Prozess. Dieses Papier beschreibt die Strategie zur Erhöhung Gasdurchlässigkeit Fluorthermoplaste durch die Einführung von Hohlräumen in den Stempel unter Verwendung von wässrigen kolloidalen Dispersionen Fluorthermoplast Nanopartikel. Die harte fluorierten Partikeln, deren Betrag zu hoch, um beim Trocknen verformen, bleibt als harte Kugeln und führen zu einer porösen Verpackung bei der Trocknung ist abgeschlossen. Die Auswahl der Additive zur Rissbildung beim Wasserverdunstung erstellt beseitigen ist auch in diesem Papier beschrieben.